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现有產品介紹

横河電機新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術的長期經驗積累和業績基礎上研發出來的。
低濃度氧化锆氧分析儀OX400的氧化锆傳感器中采用了薄膜沉積技術，在氧化锆元素和铂層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。
低濃度氧化锆氧分析儀OX400可用于控制和監視各種半導體應用，並控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

用于半導體擴散爐和烘幹爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制

用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量

測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸

特性

使用壽命長，響應速度快

由于使用了横河電機的薄膜沉積技術，傳感器的壽命周期提高了三倍

圓柱形傳感器設計便于置換被測氣體，確保高速響應

高性能和高可靠性

即使在低氧濃度下，仍具有極高的精度和線性

在不同應用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

內置功能和多種自診斷功能

自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關功能

提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

出衆的維護性

可現場更換傳感器

小型輕量，易于安裝

規格

測量對象

惰性氣體中的氧氣濃度
(易燃性氣體、二氧化矽、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)

測量系統

氧化锆系統

采樣方法

泵式，抽提式等

樣氣條件

流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
溫度: 0~50℃(無結露)
濕度: 無結露
壓力: 0~300PaG
大容許壓力: 30kPaG

測量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

輸出量程

自動:	0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-(默認)其他: 可設爲0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-，1~9的整數
固定:	設爲0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-
部分:	可設置下限值或上限值

模擬輸出

2路輸出，
一次: 4～20mA DC(大負載電阻: 550Ω)
二次: 可選爲0~1，0~5，0~10V DC(負載電阻: 10kΩ或更大)

接點輸出

報警輸出2點:	錯誤接點，O2濃度報警接點
量程範圍輸出1點:	接點輸出
多選擇器(選配件):	流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出

接點輸入

1點: 采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF

自診斷

錯誤(故障):	傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止
報警(警告):	加熱器不穩定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，限

串口通信

RS-232，38400 bps

方法

(1)3點: 10ppm，1000ppm，空氣，(2)2點: 可設定爲零點氣和量程氣，(3)1點，(4)空氣

暖機時間

20分以內

電源

100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA 大，220～240V AC，400 VA 大

尺寸

213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm

質量

約5kg

管線連接

氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋

環境條件

安裝條件:	室內，盤裝或壁裝，非易燃區域
環境溫度:	0～40℃，無結露
環境濕度:	5～85%RH
儲存溫度:	-5～50℃

符合的安全標准
和EMC標准

安全標准:	61010-1:2001
EMC:	EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工業現場) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

特性

重複性	±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或)
線性	±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低)
響應時間	90%響應 10秒內(0~1%或更高) 30秒內(小于0~1%)
漂移	±2%F.S./周

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OX400低濃度氧化锆氧分析儀

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